Главная
 
Разделы
 
 
Яфаров Р.К.
 

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Автор: Жанр: Разное Издательство: Физматлит Год: 2009 Страниц: 216 Дата загрузки: 27 октрября 2012
   В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
 

 

 

 

2011–2024

Рейтинг@Mail.ru