Главная
 
Разделы
 
 
Седаков А.Ю.
 

 
Теплопленочные элементы в микроэлектронике: Основы проектирования и изготовления Теплопленочные элементы в микроэлектронике: Основы проектирования и изготовления
Автор: Жанр: Разное Издательство: Радиотехника Год: 2011 Страниц: 168 Дата загрузки: 08 марта 2014
   Рассмотрено формирование тонкопленочной элементной базы микросборок, позволяющее создавать микроэлектронную аппаратуру с широким диапазоном функциональных возможностей и высокими точностными характеристиками; изложены принципы проектирования тонкопленочных элементов микросборок (МСБ): проводящих структур, резистивных элементов, тонкопленочных реактивных элементов (конденсаторов и индуктивностей); описаны основные технологические процессы формирования элементов плат МСБ и особенности технологических маршрутов изготовления плат с тонкопленочными элементами, вопросы контроля и обеспечения качества изготовленных элементов. Представленные в книге материалы, обобщающие результаты многолетних исследований, проведенных в рамках выполнения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ в ФГУП «ФНПЦ НИИИС имени Ю.Е. Седакова», а также исследований отечественных и зарубежных авторов, опубликованных в периодической литературе, могут оказаться полезными в качестве справочного руководства для инженеров и научных работников, занимающихся разработкой и производством микроэлектронной аппаратуры.
 

 

 

 

2011–2022

Яндекс.Метрика Рейтинг@Mail.ru