|
|
|
|
| |
Лич Р.
|
|
Инженерные основы измерений нанометровой точности
Автор: Лич Р. Жанр: Разное Издательство: Интеллект Год: 2012 Страниц: 400 Дата загрузки: 16 декабря 20142016-03-22
|
|
Книга известного специалиста Национальной Физической Лаборатории (NPL, Великобритания) последовательно рассматривает инженерные аспекты достижения нано метровой точности измерений перемещений и параметров рельефа поверхности, контроля параметров макрообъектов с помощью координатно-измерительных машин, различных зондовых, оптических и электронных средств измерений (включая вопросы обеспечения прослеживаемое измерений длины с помощью лазерной интерферометрии и калибровочных образцов). Также рассмотрены вопросы прецизионных измерений масс. Для студентов и преподавателей технических университетов, специалистов промышленных предприятий, инженеров-разработчиков и исследователей.
|
| |
|
|
|
|
|
