Теплопленочные элементы в микроэлектронике: Основы проектирования и изготовления
|
Автор: Седаков А.Ю.
Жанр: Разное
Издательство: Радиотехника
Год: 2011 Количество страниц: 168
Формат:
DOC (1.00 МБ)
Дата загрузки: 08 марта 20142014-09-14
|
Аннотация
Рассмотрено формирование тонкопленочной элементной базы микросборок, позволяющее создавать микроэлектронную аппаратуру с широким диапазоном функциональных возможностей и высокими точностными характеристиками; изложены принципы проектирования тонкопленочных элементов микросборок (МСБ): проводящих структур, резистивных элементов, тонкопленочных реактивных элементов (конденсаторов и индуктивностей); описаны основные технологические процессы формирования элементов плат МСБ и особенности технологических маршрутов изготовления плат с тонкопленочными элементами, вопросы контроля и обеспечения качества изготовленных элементов. Представленные в книге материалы, обобщающие результаты многолетних исследований, проведенных в рамках выполнения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ в ФГУП «ФНПЦ НИИИС имени Ю.Е. Седакова», а также исследований отечественных и зарубежных авторов, опубликованных в периодической литературе, могут оказаться полезными в качестве справочного руководства для инженеров и научных работников, занимающихся разработкой и производством микроэлектронной аппаратуры.
Скачать с нашего сайта
|
Комментарии
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикаци.
|
|