Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
|
Автор: Ефремов Александр Михайлович
Жанр: Физическая химия. Химическая физика
Издательство: Физматлит
Год: 2013 Количество страниц: 216
Формат:
PDF (10.80 МБ)
Дата загрузки: 27 августа 20152014-06-18
|
Аннотация
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Скачать с нашего сайта
|
Комментарии
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикаци.
|
|